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臭氧催化氧化技術工藝是基于臭氧高級氧化技術，將臭氧的強氧化性和催化劑、活性炭的吸附、催化特性結合起來，利用臭氧分子在催化劑表面產生的高反應活性自由基中間體,尤其是羥基自由基氧化去除污水中難生物降解有機物的過程。能較為有效地解決有機物降解不完全的問題。在污水處理，降低COD、bod，去除氨氮，脫色脫硝，反滲透濃水，提標改造，垃圾滲透液，焦化廢水，廢氣除臭等方面效果顯著。

臭氧的滅菌效果在濕度為70-80%條件下效果最理想，在濕度低于45%時效果較差，所以一般使用中，特別是制藥車間無菌室、病房等使用應注意在環境中適當增加濕度。用于空氣消毒用臭氧發生器多是使用陶瓷片高頻放電的模式，它具有結構簡單、性能可靠、運行費用低及調節靈活等優點。

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