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臭氧的滅菌效果在濕度為70-80%條件下效果最理想，在濕度低于45%時效果較差，所以一般使用中，特別是制藥車間無菌室、病房等使用應注意在環境中適當增加濕度。用于空氣消毒用臭氧發生器多是使用陶瓷片高頻放電的模式，它具有結構簡單、性能可靠、運行費用低及調節靈活等優點。